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論文

UV polymerization of triphenylaminemethylacrylate thin film on ITO substrate

玉田 正男; 越川 博; 細井 文雄; 諏訪 武; 臼井 博明*; 小坂 篤史*; 佐藤 壽彌*

Polymer, 40(1), p.3061 - 3067, 1999/00

トリフェニルアミンメチルアクリレート薄膜を230Kから290Kの範囲のインジューム・スズ酸化物基板上に真空蒸着により作製した。エレクトロルミネッセンス素子の構築を目指して、この薄膜に引き続き真空中でUV光を照射し重合させた。真空中での薄膜の重合をフーリエ変換赤外反射吸収法により調べた。UV光の照射により重合率はほぼ100%に達した。基板温度が高い場合、重合時間は短縮されたが、薄膜表面の凹凸が増加した。重合のメカニズムはモノマー消費速度の次数からラジカル重合機構で説明が可能であった。数平均分子量はUV強度が減少するに従い増加した。

論文

Real-time in-situ observation of PVD of N-vinylcarbazole with FTIR-RAS

玉田 正男; 越川 博; 大道 英樹

Thin Solid Films, 293(1-2), p.113 - 116, 1997/00

 被引用回数:4 パーセンタイル:33.02(Materials Science, Multidisciplinary)

N-ビニルカルバゾール(NVC$$_{2}$$)を260K以下の基板の上に真空蒸着し、薄膜作製過程を赤外反射吸収法によりリアルタイムでその場観察した。基板として銀を100nm蒸着したスライドガラスを使用した。薄膜作製過程ではカルバゾール基面と基板表面とのなす角度が59度と71度の2種類の配向膜が観察され、それぞれ、タイプI及びIIと名付けた。NVC$$_{2}$$は蒸着開始直後はタイプIの配向で基板に付着した。膜厚がほぼ140nmに達するとタイプIIの配向で付着した。同時におおよそ140nmの膜厚までタイプIとして体積したNVC$$_{2}$$は基板に接した30nmの層を残して、タイプIIへと再配列した。薄膜作製に使用したNVC$$_{2}$$の示差熱分析では260K以下の温度領域では再配列等に対応する熱の移動は認められないことから、このような再配列は蒸着で作製した薄膜にのみ観察できる現象であると考えられる。

論文

Formation of a thin film of poly(octadecyl methacrylate) using the physical vapour deposition technique

玉田 正男; 浅野 雅春; 吉田 勝; 熊倉 稔*

Polymer, 32(11), p.2064 - 2069, 1991/00

 被引用回数:12 パーセンタイル:55.23(Polymer Science)

オクタデシルメタクリレートを赤熱したタングステンフィラメント存在下で蒸着することにより、基板上でラジカル重合が起こることが見い出された。重合収率はフィラメント温度の上昇、蒸着速度の減少、基板温度の上昇により増加した。蒸着速度の低いこと、及び280K以下の基板温度範囲では温度が高くなることが、蒸着薄膜を形成する分子の配向に重要であることが分った。また、蒸着膜をアニールすることにより、LB膜のX型の構造を有する薄膜が得られた。

報告書

U-Pu炭化物系燃料用試料表面処理装置

福島 奨; 荒井 康夫; 半田 宗男; 大道 敏彦; 塩沢 憲一

JAERI-M 8248, 24 Pages, 1979/05

JAERI-M-8248.pdf:1.13MB

U-Pn混合炭化物系燃料物質を対象としたEPMA分析用試料表面の酸化膜除去および導電性物質による被覆処理装置を製作した。本装置ではPuを安全に取扱うことに加えて、つぎのような新しい性能を開発した。(1)不活性ガス雰囲気中でイオンエッチングおよびイオンコーティングまたはイオンエッチングおよび真空蒸着のような除去および被覆処理操作が行えるので、空気中の酸素、水分による試料分析面の酸化は阻止できる。(2)非導電性でしかも熱伝達の悪い樹脂埋込み試料においてもイオンエッチング処理ができる。(3)上記イオンエッチング処理の際にも試料の温度上昇はほとんどないので、試料の変質がない。

論文

A Preparation method of long-lived carbon stripper foils for heavy ions

竹内 末広; 小林 千明; 佐藤 豊; 吉田 忠; 竹腰 英子; 丸山 倫夫

Nuclear Instruments and Methods, 158(2-3), p.333 - 338, 1979/00

従来の方法で作られるカーボン・ストリッパー・フォイルをタンデム加速器などで重イオン用ストリッパー・フォイルとして用いたとき、その寿命は短い。そこで我々は長寿命カーボン・ストリッパー・フォイルの製造を追求してきた結果、3.5MeV(1$$mu$$A/13mm$$^{2}$$)のAr$$^{+}$$ビームに対して5時間~10時間の寿命を持つ長寿命カーボン・ストリッパー・フォイルの調整方法を見い出した。このフォイルは、カーボン蒸発源としてアーク放電を、剥離剤としてNiCl$$_{2}$$を、蒸着基板としてある特定の処理をしたガラス基板を用い、300$$^{circ}$$Cに加熱された蒸着基板の上にNiCl$$_{2}$$とカーボン膜(10$$mu$$g/cm$$^{2}$$)を真空蒸着することによって作られた。Ar$$^{+}$$照射による従来のカーボン・フォイルは照射部分が急速に縮み破れる(約十分)のに対し、長寿命フォイルは照射部分の縮みが極めて緩慢であり、かつ照射部分の周辺はその縮みに対し大きな伸びを供給している様子であった。

論文

Experimental study on in-situ coating of molybdenum

松田 俊明; 狐崎 晶雄; 横溝 英明; 斎藤 龍太*; 関 省吾

Journal of Nuclear Materials, 76(1-2), p.608 - 610, 1978/02

 被引用回数:2

トカマクにおける不純物対策の一つとして、MoのIN-SITUコーティング法の開発に関する実験を行った。コーティングの法としては、Moフィラメントを用いた真空蒸着を採用した。又、比較のため、」電子ビーム加熱蒸発源を用いた電解蒸着も行った。作成資料に対しては、種々の評価試験(顕微鏡及びSEM像観察、AES分析、放出ガス量測定、繰返し温度変化試験、イオンビーム照射試験など)を実施し、良好な結果を得た。

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